技術信息

從機電一體化?電子工學技術設計開發自主產品,到日立集團為首的各大制造商的產品的銷售??照{、除塵室工程施工、產業機器、空調機維修保養業務。我公司為您介紹更多產品,提供更廣泛的服務。

全球市場最大份額

東朋集團,特別是FPD?半導體?LED?OLED行業制造裝置?檢查裝置產品中多數產品均占全球市場最大份額。自主研發產品、國外先進技術革新產品均占據世界首位。


 制造裝置                                                                                                                    


以索尼(株)顯像管制造生產線清洗裝置為開端,東朋開始制造裝置生產布局。自主開發半導體晶體、平板顯示屏、LED、OLED的制造工藝過程中清洗、顯像、蝕刻、剝離等制造裝置在全球同行業中獲得一致好評。


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                            盒式清洗機                                                                   掩碼自旋清洗機



 檢查裝置                                                                                                                    


1999年東朋集團從美國KLA-Tencor公司引進FPD檢查裝置,開始檢查裝置業務。取得美國最先進技術培育成公司自主工程技術,配合客戶需求,占領全球市場最大份額。

2005年從美國Nanometrics公司、2009年從美國ZYGO公司分別接受膜厚測量裝置、3次元測定裝置技術轉讓,擴充了頂尖產品制造生產布局。


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               段差(膜厚)測量裝置 FP                                                         薄膜應力測定裝置 FLX



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              膜厚測量裝置 NanoSpec                                                       FPD 3次元測量裝置  FPM

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