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Mask Spin清洗裝置

更新時間:2020-07-01 00:44:27點擊次數:504次字號:T|T
相關介紹

Mask Spin清洗裝置

  產品概要

彩色濾光片工序:清洗用于曝光的光罩

CELL工序:清洗用于光配向的光罩

觸摸屏工序:清洗用于曝光的光罩


  產品特征

可對應光罩尺寸為寬1600mm×長1800mm

可選擇Robot搬送類型,Gantry搬送類型2種

可自定義追加各種調合裝置

以完善的安全措施減少對光罩的損傷

可對應高處理量的系統設計

可通過抑制藥液,純水,氣的使用量減少運行成本


產品外觀,構成

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