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小型Scrub清洗裝置

更新時間:2020-07-03 13:50:30點擊次數:380次字號:T|T
小型Scrub清洗裝置   產品概要                                                                  &
相關介紹

小型Scrub清洗裝置

  產品概要                                                                                                                   

各種晶圓(藍寶石/SiC等)的研磨?磨削后的清洗

小型面板的各種清洗


  產品特征                                                                                                                   

可對應面板的最大尺寸為300mm×長300mm

可對應晶圓的最大尺寸為φ200mm

可根據用途選擇清洗工具,實現優良的清洗性能

防止2次污染的搬送構造以及風刀

可對應高處理量的系統設計

可通過抑制純水,氣的使用量減少運行成本


產品外觀,構成


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