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清洗裝置

更新時間:2020-07-03 13:51:05點擊次數:414次字號:T|T
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相關介紹

清洗裝置

  產品概要

ARRAY/CF工序:初始清洗,ELA(Excimer Laser Annealing)前清洗,(Sputter?CVD)成膜前 清洗,涂布前清洗,干蝕刻前清洗,出貨前清洗.

液晶工序:PI前清洗,Rubbing后清洗.


  產品特征

可對應玻璃基板最大尺寸:G10 寬2850mm×長3050mm

以高性能的清洗工具實現優越的清洗效果

防止2次污染的搬送構造以及風刀

可對應高處理量的系統設計

可通過抑制純水,氣的使用量減少運行成本


產品外觀,構成


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