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顯影裝置

更新時間:2020-07-03 13:51:39點擊次數:434次字號:T|T
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顯影裝置

  產品概要

ARRAY工序:(正?負)光致抗蝕劑顯影

彩色濾光片工序:(正?負)RBG Color Resist/BM(Black Matrix)/PS(Photo Spacer)


  產品特征

可對應玻璃基板最大尺寸:G10 寬2850mm×長3050mm

考慮到顯影均一性的工藝設計

可自定義追加各種調合裝置

優越的溫度控制性能(設定溫度±0.5℃)

防止2次污染的搬送構造以及風刀

可對應高處理量的系統設計

可通過抑制藥液,純水,氣的使用量減少運行成本


產品外觀,構成


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