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分段后,面取后 清洗裝置 偏向板貼付前清洗裝置

更新時間:2020-07-03 13:53:42點擊次數:589次字號:T|T
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分段后,面取后 清洗裝置 偏向板貼付前清洗裝置

  產品概要

CELL工序:單板分段后清洗,單板面取后清洗

PANEL工序:分段后清洗,分流后清洗,面取后清洗,研磨后清洗,偏向板貼付前清洗


  產品特征

可對應面板基板最小尺寸:寬40mm×長70mm

可對應玻璃基板最大尺寸:寬1200mm×長1550mm

具備各種面板尺寸的標準裝置

可選擇各種清洗工具(拋光板,Disk Brush,Roll Brush)

防止2次污染的搬送構造以及風刀

可對應高處理量的系統設計

可通過抑制純水,氣的使用量減少運行成本

可根據面板的尺寸選擇自動更換工藝(Recipe)機構


產品外觀,構成


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