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有機EL用Line檢查裝置 Stealth FP

更新時間:2020-07-03 13:56:48點擊次數:571次字號:T|T
有機EL用Line檢查裝置 Stealth FP ? 產品概要?
相關介紹

 有機EL用Line檢查裝置 Stealth FP

  產品概要

有機EL用Line檢查裝置Stealth FP是,解析有機EL的薄膜不規則,LTPS的評估,光刻(Photolithography)工序的故障等各種缺陷的裝置。


  產品特征

尤其對廣范圍的膜厚不均勻,藥液殘渣或結晶評估效果顯著。

從開發階段到量產的In Line檢查,可廣范圍的使用。

可對應試做階段的小型基板到G8尺寸等的大型基板的檢查。

可對應試做階段的小型基板到G8尺寸等的大型基板的檢查。


規格

 基板尺寸  小型基板~G8尺寸
 光源  LED Array
 檢查器  高感度 Line CCD
 可選項  CIM,Loader Interface,Pattern識別等
 缺陷解析功能  有機EL膜等的膜厚不規則
 檢測出Phote  Resist,基板缺陷
 LTPS結晶性評估等


解析界面

blob.png FP

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