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FPD三維計測裝置 FPM系列

更新時間:2020-07-03 14:11:54點擊次數:576次字號:T|T
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FPD三維計測裝置 FPM系列

  產品概要

FPD三維測量裝置FPM系列是為能夠測量使用于手機或高清晰大型顯示裝置的平板顯示的表面形狀,利用Zygo公司最先進的技術研發而成。它可以測量使用于LCD(液晶顯示)或OLED(有機EL顯示)的PS,CF,TFT,COA,MEMS等的表面形狀。a將Zygo公司卓越的檢查Head搭載在我公司的自動裝置上,可提供穩定并且高性能的測量裝置。

  產品特征

以Zygo公司持有知識產權的白色干擾技術(SWLI)為基礎,搭載Zygo公司的計量Head,進一步研究開發檢查平板顯示的設備。為能夠高速且高精度觀察表面構造,使用于CF基板和TFT基板CF工程或ODF(One Drop-Fill)工程的工藝參數的改善。并且可以應用于保持構成液晶基板的CF基板和TFT基板2張玻璃之間間隔的Spacer,MVA(Multi-domain Vertical Alignment)中使用的特殊構造物,CF基板的RGB高度的等。


產品外觀?構成







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1.為能夠進行出亞納米級精密測量,使用了Zygo公司持有知識產權的傅里葉域分析(FDA:Fourier Domain Analysis)的掃描型白色干擾(SWLI:Scanning white-light interferometry)技術。

2.使用最新Digital Machine Vision技術的高速取得分析數據能力。其結果可減少Sensor Head,由此可改善系統的啟動時間。

3.以Zygo公司擁有專利的測量透明膜表面形狀或厚度的膜分析軟件,配合先進的FPD裝置。

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