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CELL Gap測量裝置 AxoScan/AxoStep

更新時間:2020-07-03 14:13:28點擊次數:829次字號:T|T
CELL Gap測量裝置 AxoScan/AxoStep ? 產品概要? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
相關介紹

CELL Gap測量裝置 AxoScan/AxoStep

  產品概要

為測量LCD工程的Cell基板Gap等的設備,Axoxcan和Axostep2種測量方式。這2種測量方式,結合應用穆勒矩陣(Mueller Matrix)的軟件分析,可1次同時測量Cell Gap,基板方向,扭轉角,傾斜度。Axometorics公司擁有這一技術的專利。

  產品特征

AxoScan是最快/最強的偏振光測量裝置。使大炮燈(Cannon Lamp)的光穿透Cell基板的測量點,通過分析偏振光狀態進行測量。使用于AxoScan的Head是由Axometrics公司自主開發的,最大的特點是可高速/高精度地同時測量多種參數。Spot尺寸是3mm,測量這個Spot內的平均值。AxoStep是以CCD Camera代替AxoScan的Head的測量方式。因使用CCD Camera可進行區域的測量,并且因為可以替換鏡頭可對應低倍率(8.6mm左右)到高倍率(0.043mm左右)。測量參數與AxoScan一樣,但是由于測量區域較廣,所以可以對整個Pixel進行分析。


AxoScan


 測量區域

 3mm(可定制)

 測量時間

 約1~2.5秒/區域

 測量參數

 Cell Gap,

 對應基板

 G2~G8基板

 測量再現性

 Cell Gap/3σ=0.005μm,基板方向,傾斜度,扭轉角/3σ=0.1°


AxoStep

 測量區域

8.6mm×6.9mm~0.043mm×0.034mm(通過更換物鏡)

 測量時間

約15秒

 測量參數

Cell Gap,基板方向,扭轉角(上下),傾斜度

 對應基板

G2~G8基板

 測量再現性




  產品外觀?構成

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